Պլազմայի մակերեսի մաքրումը գործընթաց է, որի ընթացքում նմուշի մակերեսի կեղտերն ու աղտոտիչները հեռացվում են գազային մասնիկներից բարձր էներգիայի պլազմայի ստեղծմամբ, այն նախատեսված է տարբեր կիրառությունների համար, ինչպիսիք են մակերեսի մաքրումը, մակերեսի մանրէազերծումը, մակերեսի ակտիվացումը, մակերևույթի էներգիայի փոփոխությունը, մակերևույթի պատրաստում միացման և կպչման համար, մակերեսի քիմիայի ձևափոխում։